“造中国人自己的高端半导体设备”

转自：沈阳晚报

工匠金句

路虽远，行则将至。只要脚踏实地，积跬步以至千里，目标一定可以实现。

——郑云龙

在浑南区沈本大街和全运五路交叉口，马路两侧竖立着两块巨大的标语：时不我待推进科技自立自强，只争朝夕突破“卡脖子”问题。沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称芯源微公司）就在不远处。在芯源微公司一楼的企业展示大厅里，墙上挂着一张张专利证书，其中好几张都有“郑云龙”这个名字。

实现“装备自主”是最神圣的使命

“上大学的时候，听前辈谈及国产半导体设备研发的艰辛与空白，让我意识到没有自主可控的核心装备，就谈不上真正的产业安全。”正是这份“造中国人自己的高端半导体设备”的理想，让郑云龙立志投身于中国的半导体装备研究事业。2014年，郑云龙硕士毕业后加入芯源微公司。

晶圆制造及封装过程中的表面纳米级颗粒清洗，是保障芯片良率的重要工序。郑云龙作为芯源微公司晶圆物理清洗设备开发阶段的核心技术骨干以及产业化阶段的技术负责人，深知肩上担子的分量。

设备开发阶段，面对着关键技术——颗粒控制经验的严重欠缺，郑云龙和同事通过不断的方案验证、测试摸索，以及调研学习，逐步深入掌握颗粒形成原因及控制方案，开发的设备在清洗效率与缺陷控制等关键指标上达到国际先进水平，实现设备在客户端的优良表现，一举打破国外垄断、成功实现国产替代。

“公司的发展规划紧密对接沈阳的集成电路产业布局和国家在半导体领域的重大专项部署。作为其中一员，我深感责任重大。”在郑云龙看来，每一次技术突破，既是个人价值的实现，更是为公司提升产品力、实现“装备自主”战略目标提供关键支撑。

终身学习是生存和发展的必需

“在半导体这个日新月异的行业，学习不是任务，而是生存和发展的必需”。在不断攻关的过程中，郑云龙深刻体会到，保持“空杯心态”和强烈好奇心至关重要。

首台设备验证过程中偶发颗粒超标问题，郑云龙持续奋战在测试一线，通过逐个部件的分离试验，最终锁定问题源头。并通过一些创新的方案设计，规避了颗粒外溢，保证了设备在终端的良好的工艺效果。

设备上市之初，产能是瓶颈。一次，郑云龙在客户现场出差，在与其他部门同事的沟通过程中，忽然想到了一种新的产能提升方案。回到公司后，他马上组织进行实际验证，结果非常有效，并且该方案至今一直在设备上应用。

“面对挑战，与其畏惧，不如视其为学习和成长的机会。”郑云龙认为，创新源于对现有认知边界的不断挑战和对新知识的主动拥抱。终身学习不仅是为了掌握技能，更是培养一种解决问题的思维方式和持续创新的能力，让自己在面对复杂技术难题时，能更从容地寻找路径。

钻研和执着是工匠精神最硬内核

在郑云龙看来，半导体行业需要工匠精神，需要耐得住寂寞的钻研和精益求精的执着。只有脚踏实地，不畏艰难，持续学习，才能不断取得新的成绩。

“经常有人问我有什么窍门和经验，我觉得动手实操是最有效的”。郑云龙谈起最初进行清洗设备开发时，磁力的夹持卡盘机构是技术难点。当时设备空间非常有限，他们通过不断地进行不同磁性机构的手动测试，将磁力系统不同机构进行分离，创新开发了满足实际应用的小型化卡盘机构。

在迭代产品开发过程中，传送系统在验证尾声阶段出现了一些比较紧急的难解问题，郑云龙和团队成员每天测试到凌晨，一起想方案、验证，始终坚信没有不能解决的问题，针对不同问题、通过多个方案的结合，最终实现了设备的稳定运行。在设备批量应用过程中，郑云龙和团队不断攻克技术难关，推动产品迭代升级，不仅实现了自己的专业理想，而且直接为企业的技术积累和市场拓展作出了实质贡献。

在芯源微公司展厅的墙上，有一首芯源微创始人宗润福作词的歌曲《对胜利负责》，那句“初心如磐，笑看天高海阔”，唱出了一群热血磅礴的有志青年，为中国半导体事业发展奋斗，为振兴东北老工业基地使命必达的豪情壮志。郑云龙坦言，“为国家半导体装备自主化尽一份力”的使命感是自己保持奋斗的初心和动力。他说：“对半导体技术的热爱，对解决复杂问题的执着，以及与团队共进的喜悦，是驱动我不断前行的动力源泉。”

沈阳晚报

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记者刘东

摄影王雁